设备删除：“差分式高能电子衍射仪 1. 电子枪部分:能量范围从1 0到60keV 2. 控制电源部分:能量、灯丝电流、束流强度等都可以数字形式在显示器上显示，而且可以通过一个简洁的控制面板远程控制调节束流强度、聚焦位置等。系统具有自我诊断能力，可以快速全面地对RHEED系统进行检查。 3. 计算机控
新一代的双模式偏轴高能电子倍增脉冲离子计数检测器 数字模式检测器，垂直主轴线90度的检测器系统，高电压的(15KV)转换打拿极设计；以实现极宽的动态范围并兼顾灵敏度 。说明：美国热电公司的设计，各厂家的设计不一样，没有实际意义。答：可修改为“5.2 检测器：光电倍增管或电子倍增管，可实现极宽的动态范
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