警系统；31、自动压力控制系统；■32、偏压电源：-300V××1；33、系统停泵关机12小时后，真空度≤5Pa；34、系统充干燥N2解除真空，短时暴露大气后抽气至9.0××10-5Pa≤30min；■35、带角度调节Φ80mm磁控靶3只；36、角度调节精度：1°；●37、13.56MHz，600W
构流畅。精心设计的压力控制系统，设有超压报警装置，使用更安全。 主要技术指标流量：≥2L/min，自控：冲液量为250～350ml／次，吸液量为300～450ml／次，吸液量大于冲液量为50～150ml，压力控制：冲、吸压力值设定为47～67kPa，连续运行误差不大于±5KPa，噪声：≤60dB(A
京公网安备 11010802022993号
