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中国科学技术大学2021年3至12月政府采购意向-氟化氢释放刻蚀机采购意向公告

发布时间：2021/2/8 地区：安徽

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所属地区	安徽
招标编号	****** [登陆后查看]	截止日期	****** [登陆后查看]
招标代理	******* [登陆后查看]
招标业主	中国***大学 [登陆后查看]

公告摘要

氟化氢释放刻蚀机
(略) 在采购意向：	中 (略) * 月政府采购意向
采购单位：	中 (略)
采购项目名称：	氟化氢释放刻蚀机
预算金额：	* . *** 万元(人民币)
采购品目：	A *** 其他专用仪器仪表
采购需求概况：	1、刻蚀速率 * 埃/min~ * A/min2、HF气体流量0~ * sccm,无水 * 醇气体流量-~ * sccm，工艺氮气流量0~ * sccm， (略) 理；3、刻蚀均匀性好于 * %
预计采购时间：	***
备注：

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排， (略) 和采购文件为准。

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